ÃÖ°í 18~30KHzÀÇ ÃÊÀ½ÆÄ°¡°ø±â
°í¼º´ÉÀÇ ÃÊÀ½ÆĽºÇɵéÀ» ÀåÂø
10~30KHz ´ë¿ªÀÇ ÁÖÆļö Áøµ¿À¸·Î À¯¸®, ÄõÃ÷, Si, SiC¿Í ¼¼¶ó¹Í µî °¡°øÀÌ ¾î·Á¿î ³»èÁ¦ÀÇ °¡°ø¿¡ Ź¿ùÇÑ ¼º´ÉÀ» ¹ßÈÖÇÑ´Ù
ÅÍÄ¡ÆÐ³ÎºÐ¾ß¿Í ½º¸¶Æ®ÆùºÐ¾ßÀÇ °ÈÀ¯¸® °¡°ø°ú ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀç Áß ¼¼¶ó¹Í, ½Ç¸®ÄÜ, ÄõÃ÷, Si, SiC µîÀÇ ¹Ì¼¼È¦ °¡°ø¿¡ ÀûÇÕ